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微電子、電子材料,器件,可靠性分析
在微電子領(lǐng)域中,先進(jìn)材料的表征和可靠性測(cè)試對(duì)于微電子產(chǎn)品的相關(guān)研究、開發(fā)和生產(chǎn)制造至關(guān)重要。在開發(fā)、生產(chǎn)的每一個(gè)關(guān)鍵步驟中,都需要利用先進(jìn)的設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體技術(shù)的提升,器件、材料的表征和失效分析。

材料成份和力學(xué)性質(zhì)測(cè)量分析
材料成份和力學(xué)性質(zhì),包括硬度,拉伸性和壓縮性能等,是材料的重要基本性質(zhì)。成份分析指明材料的組成;力學(xué)性質(zhì)決定材料最基本的機(jī)械性能。這些性質(zhì)的表征和測(cè)試對(duì)于材料的應(yīng)用和失效分析等意義重大。

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