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微電子、電子材料，器件，可靠性分析
在微電子領(lǐng)域中，先進(jìn)材料的表征和可靠性測試對于微電子產(chǎn)品的相關(guān)研究、開發(fā)和生產(chǎn)制造至關(guān)重要。在開發(fā)、生產(chǎn)的每一個(gè)關(guān)鍵步驟中，都需要利用先進(jìn)的設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體技術(shù)的提升，器件、材料的表征和失效分析。
材料成份和力學(xué)性質(zhì)測量分析
材料成份和力學(xué)性質(zhì)，包括硬度，拉伸性和壓縮性能等，是材料的重要基本性質(zhì)。成份分析指明材料的組成；力學(xué)性質(zhì)決定材料最基本的機(jī)械性能。這些性質(zhì)的表征和測試對于材料的應(yīng)用和失效分析等意義重大。
